Txip MBE proiektua azken urteotan amaitu da

Teknologia

Molekulen izpien epitaxia, edo MBE, kristal substratuetan kalitate handiko kristal-film meheak hazteko teknika berri bat da. Hutsean dauden baldintza ultra-altuetan, berogailu-sukaldeak beharrezko osagai mota guztiekin hornituta dago eta lurruna sortzen du. Izpi atomikoak edo molekula-izpiak kolimatu ondoren sortutako zuloen bidez, kristal bakarreko substratuaren tenperatura egokian zuzenean injektatzen da. Aldi berean, substratuaren eskaneatze-izpi molekularra kontrolatzen da, eta kristal-lerrokatze geruzetan dauden molekulak edo atomoak substratuaren gainean film mehe bat "haztera" bultzatzen ditu.

MBE ekipamenduen funtzionamendu normalerako, nitrogeno likido purutasun handiko, presio baxuko eta ultra-garbiak etengabe eta egonkor garraiatu behar dira ekipamenduaren hozte-ganberara. Oro har, nitrogeno likidoa ematen duen depositu batek 0,3MPa eta 0,8MPa arteko irteera-presioa du. -196℃-tan nitrogeno likidoa erraz lurruntzen da nitrogenoan hodi bidezko garraioan. 1:700 inguruko gas-likido erlazioa duen nitrogeno likidoa hodian gasifikatzen denean, nitrogeno likidoaren fluxu-espazio handia hartuko du eta nitrogeno likidoaren hodiaren amaieran ohiko fluxua murriztuko du. Gainera, nitrogeno likidoaren biltegiratze-deposituan, garbitu gabeko hondakinak egongo dira ziurrenik. Nitrogeno likidoaren hodian, aire hezea egoteak izotz-zepa sortzea ere ekarriko du. Ezpurutasun horiek ekipamendura isurtzen badira, kalte aurreikusezinak eragingo dizkiote ekipamenduari.

Beraz, kanpoko biltegiratze-tangan dagoen nitrogeno likidoa MBE ekipamendura garraiatzen da hautsik gabeko tailerrera, eraginkortasun handiz, egonkortasunez eta garbitasunez, eta presio baxuarekin, nitrogenorik gabe, ezpurutasunik gabe, 24 orduz etenik gabe, garraio-kontrol sistema hori produktu kualifikatua da.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

MBE ekipamendu parekatua

2005az geroztik, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) sistema hau optimizatzen eta hobetzen ari da, eta nazioarteko MBE ekipamenduen fabrikatzaileekin lankidetzan aritu da. MBE ekipamenduen fabrikatzaileek, besteak beste, DCA eta REBER, lankidetza-harremanak dituzte gure enpresarekin. MBE ekipamenduen fabrikatzaileek, besteak beste, DCA eta REBER, hainbat proiektutan parte hartu dute lankidetzan.

Riber SA molekula-sorta epitaxia (MBE) produktuen eta zerbitzu erlazionatuen hornitzaile global liderra da konposatu erdieroaleen ikerketarako eta industria-aplikazioetarako. Riber MBE gailuak material geruza oso meheak jar ditzake substratuan, kontrol oso altuekin. HL Cryogenic Equipment-en (HL CRYO) huts-ekipoa Riber SA-rekin hornituta dago. Ekipamendu handiena Riber 6000 da eta txikiena Compact 21. Egoera onean dago eta bezeroek aitortu dute.

DCA munduko oxido MBE liderra da. 1993az geroztik, oxidazio teknikak, antioxidatzaile substratuen berokuntza eta antioxidatzaile iturriak modu sistematikoan garatu dira. Hori dela eta, laborategi nagusi askok DCA oxido teknologia aukeratu dute. Konpositezko erdieroaleen MBE sistemak mundu osoan erabiltzen dira. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) enpresaren VJ nitrogeno likidoaren zirkulazio sistemak eta DCAren hainbat modelotako MBE ekipamenduek esperientzia berdina dute proiektu askotan, hala nola P600, R450, SGC800 eta abar modeloetan.

tcm (2)

Errendimendu-taula

Shanghaiko Fisika Teknikoaren Institutua, Txinako Zientzien Akademia
Txinako Elektronika Teknologia Korporazioaren 11. Institutua
Txinako Zientzien Akademiako Erdieroaleen Institutua
Huawei
Alibaba DAMO Akademia
Powertech Teknologia Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Fotonika

Argitaratze data: 2021eko maiatzaren 26a

Utzi zure mezua