Albisteak - Chip MBE proiektua azken urteetan burutu zen

Teknologia

Molecular beam epitaxia edo MBE, kristalezko substratuetan kalitate handiko kristalen film meheak hazteko teknika berria da. Hutsean ultra-altuko baldintzetan, berogailuak beharrezko osagai guztiak ditu eta lurruna sortzen du, izpi atomiko edo molekularra kolimatu ondoren sortutako zuloen bidez, kristal bakarreko substratuaren tenperatura egokian injekzio zuzena, habe molekularra kontrolatuz. substratua miatzen aldi berean, molekulak edo atomoak kristal lerrokadura geruzetan egin ditzake film mehe bat osatzeko substratu "hazkundea".

MBE ekipoen funtzionamendu normala lortzeko, garbitasun handiko, presio baxuko eta ultra-garbia nitrogeno likidoa etengabe eta egonkortasunez ekipamenduaren hozte-ganberara garraiatu behar da. Oro har, nitrogeno likidoa ematen duen depositu batek 0,3 MPa eta 0,8 MPa arteko irteerako presioa du. Nitrogeno likidoa -196 ℃-tan erraz lurruntzen da nitrogeno bihurtzen hoditeria garraiatzeko garaian. 1:700 inguruko gas-likido erlazioa duen nitrogeno likidoa gasolioan gasifikatzen denean, nitrogeno likidoaren fluxu-espazio kopuru handia hartuko du eta nitrogeno likidoaren hodiaren amaieran fluxu normala murriztuko du. Gainera, nitrogeno likidoa biltegiratzeko deposituan, litekeena da garbitu ez diren hondakinak egotea. Nitrogeno likidoaren hodietan, aire hezea egoteak izotz-zepa sortzea ere ekarriko du. Ezpurutasun horiek ekipora isurtzen badira, ekipoari ezusteko kalteak eragingo dizkio.

Hori dela eta, kanpoko biltegiratze deposituko nitrogeno likidoa hautsik gabeko tailerrean MBE ekipamendura garraiatzen da eraginkortasun, egonkortasun eta garbitasun handiarekin, eta presio baxua, nitrogenorik gabe, ezpurutasunik gabe, 24 orduz etenik gabe, garraio kontrol sistema hori da. produktu kualifikatu bat.

MBE ekipamendu bat etortzea

2005az geroztik, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) sistema hau optimizatzen eta hobetzen ari da eta nazioarteko MBE ekipamenduen fabrikatzaileekin lankidetzan ari da. MBE ekipoen fabrikatzaileek, DCA, REBER barne, lankidetza harremanak dituzte gure enpresarekin. MBE ekipoen fabrikatzaileek, DCA eta REBER barne, proiektu ugaritan elkarlanean aritu dira.

Riber SA habe molekularreko epitaxia (MBE) produktuen eta erlazionatutako zerbitzuen hornitzaile nagusia da erdieroale konposatuen ikerketarako eta industria aplikazioetarako. Riber MBE gailuak material geruza oso meheak jar ditzake substratuan, kontrol oso handiekin. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hutseko ekipoak Riber SArekin hornituta daude Ekipamendu handiena Riber 6000 da eta txikiena Compact 21. Egoera onean dago eta bezeroek aitortu dute.

DCA munduko oxido MBE liderra da. 1993az geroztik, oxidazio-tekniken, substratu antioxidatzaileen beroketa eta antioxidatzaile-iturrien garapen sistematikoa egin da. Hori dela eta, puntako laborategi askok DCA oxidoaren teknologia aukeratu dute. Erdieroale konposatu MBE sistemak mundu osoan erabiltzen dira. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) VJ nitrogeno likidoaren zirkulazio-sistemak eta DCA-ren hainbat modelotako MBE ekipamenduek pareko esperientzia dute proiektu askotan, hala nola, P600, R450, SGC800 eta abar ereduan.